获奖名称： 低功耗微结构气敏传感器制备技术（吉林省科学技术进步奖三等奖）
获奖人： 刘航
简 介： 近几年，随着人们对自然环境的日益关注，尤其是最近国内各地的pm2.5事件，对于气体的检测预警方面的研究成为一大热点。同时，微传感器随着物联网概念的逐步明确和建立而受到青睐。在此背景和前提下，本项目围绕着微气体传感器的结构优化设计和气敏性能改善两方面进行了探索，展开了一系列的创新性研究，成功开发了一款微结构气体传感器，取得了以下创新性研究成果。
1.总结提出一套合理的微热板设计流程，包括器件参数理论计算、3d 建模、有限元仿真分析、参数优化、版图绘制、样品制作和结果验证七步。
2.采用静电纺丝技术，分别制备中空sno2以及四元固溶体laxsr1-xfeo3等具有不同结构、组成的半导体金属氧化物纳米纤维。
3.结合微结构传感器和纳米材料制作完整的微结构气敏元件，该元件对100 ppm甲醛有较高的灵敏度，且响应恢复速度很快。
本项目获得授权专利2项，发表论文15篇，其中sci检索5篇、ei检索6篇。本项目所开发的微热板式气体传感器具有低功耗、响应快、与集成电路工艺兼容性好、易于实现集成化等突出优点。并已经在实际气体浓度监测中得到推广应用。
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